光刻機冷卻循環裝置常見系統故障

光刻機冷卻循環裝置常見系統故障

光刻機冷卻循環裝置常見系統故障

　　1、回液：對于使用膨脹閥的制冷系統，回液與膨脹閥選型和使用不當密切相關。膨脹閥選型過大、過熱度設定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對于使用毛細管的小制冷系統而言，加液量過大會引起回液。蒸發器結霜嚴重或風扇故障時傳熱變差，未蒸發的液體會引起回液。溫度頻繁波動也會引起膨脹閥反應失靈而引起回液。

　　2、帶液啟動：壓縮機內的潤滑油劇烈起泡的現象叫帶液啟動。帶液啟動時的起泡現象可以在油視鏡上清楚地觀察到。根本原因是潤滑油中溶解的以及沉在潤滑油下面了大量的制冷劑，在壓力突然降低時突然沸騰，并引起潤滑油的起泡現象，很容易引起液擊。

　　3、排氣溫度過高：排氣溫度過高的原因主要有以下幾種：回氣溫度高、電機加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數、制冷劑選擇不當。

　　4、液擊：為了保證壓縮機的運轉，防止產生液擊現象，要求吸氣溫度比蒸發溫度高一點，即應具有一定的過熱度。吸氣溫度正常情況下應比蒸發溫度高。

　　5、吸氣溫度高：系統中制冷劑充注量不足，或膨脹閥開啟度過小，膨脹閥口濾網堵塞，回氣管道隔熱不好或管道過長等。

6、排氣溫度過低：節流閥或者干燥過濾器冰堵或臟堵，以及過濾器堵塞，制冷劑充注量不足。